ESC Si Wafer Broken
2018.08.01 11:16
안녕하세요. 반도체회사에 다니고 있습니다.
Plasma와 연관성이 없을 수 있는 질문인데요..
Si Wafer가 ESC Chucking Voltage의 Damage(??)에 의해 Edge Broken이 발생할 수 있는지 궁금합니다. (2500v)
ESC를 사용하다가 1년 이상되면 Broken이 발생하고, Broken 주기는 점점 빨라집니다.
ESC의 오랜 사용에 의한 노화 현상은 맞는거 같은데 어떤 영향성으로 발생하는지 궁금해서요...(ESC 교체시 정상되네요)
Plasma On/Off와는 연관성이 없었습니다.
댓글 2
-
김곤호
2018.08.08 14:18
-
서태현
2020.07.20 12:02
안녕하세요. RF power 회사에 다니는 서태현입니다.
ESC의 딤플의 두께는 사용주기에 따라 닳게 됩니다. 이 또한 wafer broken의 원인이며 딤플의 두께가 일정치 않고 높낮이가 다르면 broken 유발 및 공정처리 불량을 유발할 수 있습니다.
그에 의해서 broken 되는 경우가 있고 보통 ESC power를 모니터링 해보시면 더 좋으실 텐데 똑같은 wafer를 삽입시에 -전압(척킹) +전압(디척킹) 이 정상치보다 낮게 나온다. 이 또한 wafer broken의 원인입니다. 전류 자체가 높아져 broken 됩니다.
결과적으로 ESC도 소모성 장비이기 때문에 주기적으로 고장났다고 하셨으면 ESC power supply 점검 후에 주기적 수리나 교체가 필요할 것 같습니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76727 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20189 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68699 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92278 |
509 | Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [1] | 9519 |
508 | 에칭후 particle에서 발생하는 현상 | 9507 |
507 | 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 | 9261 |
506 | 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] | 9227 |
505 | 안녕하세요 교수님. [1] | 9029 |
504 | RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] | 8980 |
503 | Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] | 8919 |
502 | 수중플라즈마에 대해 [1] | 8739 |
501 | ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] | 8720 |
500 | Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. | 8643 |
499 | N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] | 8618 |
498 | Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] | 8594 |
497 | Lecture를 들을 수 없나요? [1] | 8579 |
496 | Microwave 장비 관련 질문 [1] | 8572 |
495 | 핵융합에 대하여 | 8563 |
494 | RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] | 8136 |
493 | 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] | 8133 |
492 | 플라즈마 발생 억제 문의 [1] | 8122 |
491 | 고온 플라즈마 관련 | 8090 |
490 | 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] | 8034 |
정적척의 구동 원리를 한 번 연구해 보시면 어떨까요? ESC 노후 문제라 판단이 서셨는데, 저도 동의합니다. 너무 세게 chucking 하고 있으면 wafer가 자주 부서지곤 했었습니다. Chucking 구동 원리를 공부해 보세요.