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412 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8525
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400 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 7572
399 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7572
398 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7327
397 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 7198
396 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7177
395 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 7102
394 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 6599
393 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6569

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