안녕하세요

상압 플라즈마와 관련하여 몇가지 문의 드릴려고 합니다.

1. 헬륨 가스를 이용하여 상압 플라즈마를 발생 시켰을때, 헬륨 이온이 생성 될때 발생하는

    전자로 인하여 공기중의 다른 원소들이 이온화 된다고 알고 있습니다. 그럼 이온화된

    헬륨은 인체 또는 공기에 어떤 영향을 끼치는지 문의 드립니다.

 

2. 텅스텐을 세라믹으로 감싼 전극과 아노다이징 된 알루미늄 사이(0.5mm)에 물 미립자를 통과 시켜서

    -OH 라디칼 이온을 만들려고 했는데, 오존이 종종 발생 됩니다. 전극에서 전달된 에너지가

    -OH 라디칼 이온과 오존 중 어떤 걸 먼저 만들어 내는지 알 수 있을까 해서요..

 

우선은 두가지 문의 드립니다.

제 이메일 주소는 vngkgk11@gmail.com 입니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5860
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17324
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53145
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64543
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85156
418 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8560
417 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8528
416 핵융합에 대하여 8509
415 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8495
414 수중플라즈마에 대해 [1] 8393
413 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8371
412 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8335
411 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 8091
410 고온 플라즈마 관련 8034
409 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 7936
» 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 7925
407 MFP에 대해서.. [1] 7670
406 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 7630
405 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7585
404 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 7380
403 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7371
402 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [1] 7362
401 Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] 7302
400 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7236
399 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 6645

Boards


XE Login