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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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483 |
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 3136 |
482 |
HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요?
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481 |
교수님 질문이 있습니다.
[1] | 732 |
480 |
wafer bias
[1] | 1119 |
479 |
Group Delay 문의드립니다.
[1] | 1134 |
478 |
Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문)
[1] | 508 |
477 |
RPG Cleaning에 관한 질문입니다.
[2] | 1944 |
476 |
리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ
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475 |
안녕하세요 ICP dry etching 관련 질문사항드립니다!
[1] | 1920 |
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PEALD관련 질문
[1] | 32597 |
473 |
N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 2115 |
472 |
dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 3384 |
471 |
Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다..
[3] | 1063 |
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기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다.
[2] | 692 |
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ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다
[2] | 3914 |
468 |
VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다.
[1] | 426 |
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임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다.
[4] | 2306 |
466 |
쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다.
[1] | 1145 |
465 |
Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다.
[3] | 1338 |
464 |
상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다
[2] | 949 |
공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.