Others 활성이온 측정 방법

2017.11.07 15:04

.. 조회 수:458

안녕하세요

배가스 제거 기술 개발을 하고 있는 직장인 이성수라고 합니다.

플라즈마 관련 문의 사항이 있어서 연락을 드립니다.

오존을 이용하여 gas를 분해하는 기술에 대해서 알아보고 있는데요

오존이 아닌 플라즈마 이온이 gas를 분해하는데 더  강한 산화제로 작용울 할수 있는것 같습니다.

그래서 오존발생기(플라즈마방식)에서 오존 외에 활성이온량을 측정할수 있는 방법을 찾고 있습니다.

활성이온량을 측정할수 있는 방법이 있는지요?

그리고 플라즈마 밀도를 측정하기 위해서 EOS 를 사용하는 것으로 알고 있는데요

플라즈마 밀도와 활성이온량의 의미는 같은것인지요?

현재 활성이온 측정 방법을 알수 없어서 개선방법을 못찾고 있습니다.

교수님의 고견 부탁 드립니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [129] 5609
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16899
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51349
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64213
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84231
390 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6493
389 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6466
388 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6350
387 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6325
386 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6314
385 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6230
384 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6210
383 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6207
382 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 6058
381 자료 요청드립니다. [1] 6048
380 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6034
379 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 5987
378 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 5942
377 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 5851
376 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 5703
375 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5693
374 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 5662
373 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5363
372 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 5226

Boards


XE Login