김곤호 교수님 안녕하세요~~


저는 ESC를 만드는 업체에 근무를 하고 있습니다. (Display용 ESC, monopolar)


일을 하다보니 궁금한게 많은데 논문을 찾아보고 해도 잘 이해가 안되는 부분들이 있어서 글을 올립니다.


1. Dry etcher 공정중에 온도가 변화하면 ESC의 chucking force가 변화하나?

반도체 ESC에서는 비저항을 낮추기 위해 여러가지 물질들을 섞어서 chucking force를 증가시키고, 또한 공정중에 온도를 올려주면

비저항이 떨어져 Chucking force가 증가한다고 논문에 나와있습니다.

그럼 monopolar용 Al2O3를 기반으로 만든 대면적 dry etcher용 ESC는 온도가 올라가면 Chucking force가 달라질까요?

제 생각은 알루미나의 유전율이 바뀌지 않기 때문에 chucking force에 변화가 없을것으로 생각되어지는데 맞는지요?

2. 진공상태와, Air, 습도에 따라 당연히 Chucking force가 변화하는 걸로 알고 있습니다,

그럼 공정중 압력의 변화가 있으면 Chucking force가 변화할까요?

1mTorr, 10mTorr에서 같은 파워에서는 플라즈마 밀도가 다르기때문에 이온들이 더 많이 끌려오는 10mtorr가 chucking force가 높을것으로 사료되는데 맞는지요? 또한 가스 유량 없이 펌핑만할경우에는 압력의 변화에 chucking force가 변화가 없는게 맞나요?

3. 디스플레이에서 유리 기판을 chucking을 하는데 dummy glass와 metal이 증착되어진 glass의 chucking력이 다른지요? 

제 생각은 metal이 증착되어 있는 glass가 chucking력이 높을거 같은데 이유는 glass위에 증착되어진 metal이 capacitance 역할을 하여 chucking force가 증가할거 같습니다.


저의 궁금한점과 짧은 생각을 적어놓았는데 시간 되실 때 답변을 해주시면 감사하겠습니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
483 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1475
482 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1478
481 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1485
480 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1518
479 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1550
478 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1564
477 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1576
476 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1587
475 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1594
474 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1617
473 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1630
472 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1637
471 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1655
470 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1662
469 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1667
468 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1677
467 압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [1] 1683
466 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1688
465 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1696
464 ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage [1] 1716

Boards


XE Login