안녕하세요. 카이스트에서 석사 1년차로 있는 대학원생입니다.

 

Single probe로 electron energy probability distribution을 구할 때, low energy electron은 bulk plasma에서 평형 상태에 도달한 전자들을 지칭하고 high energy electron은 cathode에서 방출되고 probe sheath를 통해 bulk plasma로 가속되는 전자들을 지칭하는 것으로 알고 있습니다.

 

이 두 그룹의 전자들을 구분할 수 있는 식이 따로 있는지 궁금합니다. 실험을 통해 얻은 EEPF에서 몇 eV부터 몇 eV까지는 low energy electrons이고 몇 eV부터 몇 eV까지는 high electrons이다 라는 형태의 답을 얻고 싶습니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [267] 76710
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20162
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57162
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68684
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92244
488 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1463
487 charge effect에 대해 [2] 1465
486 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [1] 1481
485 PECVD 증착에서 etching 관계 [1] 1493
484 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1506
483 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [1] 1509
482 IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [2] 1511
481 plasma 형성 관계 [1] 1511
480 데포 중 RF VDC DROP 현상 [1] 1533
479 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1560
478 ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] 1596
477 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1597
476 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 1603
475 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1607
474 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1642
473 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1659
472 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1660
471 안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [1] 1668
470 RF 전압과 압력의 영향? [1] 1675
469 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1682

Boards


XE Login