30 kW급 공동형 (양 극 모두 구리) 플라즈마 토치를 운전하는데, 음극에서 구리 소모가 상당히 심하네요. 원래 음압에서 운전하도록 설계된 토치인데, 저희는 약간의 양압 상태에서 운전하고 있습니다. 0.2 bar정도...

플라즈마 소스는 알곤가스를 사용합니다. 냉각은 13도로 들어가서 15도 정도로 나오니... 잘 되는 것 같은데.... 구리가 많이 나오네요.

이런 경우는 어떤 대처가 필요할 까요? 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [313] 79228
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21259
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58060
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69617
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 94401
523 MFP에 대해서.. [Collisional cross section] [1] 7906
522 정전척 isolation문의 입니다. [Paschen's law와 절연파괴현상] [1] 7789
521 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [RRC 연구센터 문의] [1] 7770
520 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [유전체 격벽 방전] [1] 7728
519 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [High Power RFG] [2] 7550
518 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [Bias power] [1] 7296
517 ETCH 관련 RF MATCHING중 REF 현상에 대한 질문입니다. [플라즈마 응답 특성] [1] 7241
516 저온플라즈마에 관해서 [플라즈마 방전의 특성] [1] 6817
515 O2, N2, Ar 플라즈마에 대한 질문입니다. [표면 화학 반응] [2] 6614
514 안녕하세요, 질문드립니다. [플라즈마 토치와 환경처리] [2] 6613
513 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6606
512 플라즈마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [Plasma 이온화] [1] 6582
511 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매커니즘 문의.. [플라즈마 leak와 국부방전] [1] 6580
510 플라즈마 데미지에 관하여.. [Charge의 축적과 damage] [1] 6565
509 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [Chemical reaction과 pressure] [1] 6553
508 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6521
507 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [물리적/화학적 세정] [4] 6487
506 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [나노 분말 생성 및 제어 연구] [1] 6469
505 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문 드립니다! [플라즈마 발생 방식과 성질] [1] 6439
504 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [플라즈마 임피던스 및 내부 임피던스 변화] [2] 6431

Boards


XE Login