안녕하세요. 교수님.

현재 반도체 장비업체에서 Dry etch관련 공정 업무를 수행하고있는 연구원입니다.

평소 플라즈마에 대해 공부하며 다른 사람의 질의응답들을 참고하곤 했었는데, 처음 질문글을 남기게 되네요.

플라즈마 관련 공부 및 실험을 진행하다 궁금한 사항이 있어, 질의를 드립니다.


1. 플라즈마를 방전시켰을때, 발생하는 arcing현상이 발생하는 이유가 뭔지 궁금합니다.

   절연 물질이 절연파괴가 되면서 해당 부분으로 전하가 축적되어 전하차이에 의해 발생하는건가요?

   arcing현상을 줄이기위한 방법들은 어떤 것들이 있을까요? 절연층을 두껍게한다거나, Ground 접지를 이용한 방법들 외 다른 방법들도

   있는지요?


2. 추가로 비슷하게 Local plasma? 플라즈마 방전시 안정화되지 못하고 깜빡거리는 현상역시 발생하는 이유에 대해 궁금합니다.

    사용하고 있는 parameter는 Pressure,  gas, Power 등인데, 각 parameter들이 플라즈마 방전이 발생하기에 부족하거나 불안정하여

    발생되는 현상인가요?


감사합니다.



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91694
484 MFP에 대해서.. [1] 7817
483 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7695
482 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7629
481 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7589
480 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 7156
479 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7062
478 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6618
477 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6569
476 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6534
475 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6483
474 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6463
473 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6452
472 O2 plasma, H2 plasma 처리 관련 질문이 있습니다. [1] 6428
471 플라즈마 기술관련 문의 드립니다 [1] 6416
470 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6408
469 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 6377
468 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6358
467 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 6355
466 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6249
465 자료 요청드립니다. [1] 6201

Boards


XE Login