Ion/Electron Temperature RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문
2017.06.06 16:47
RF prequency가 증가하면 plasma 상태에서 중성을 유지하려는 힘보다 커져서 중성상태를 깨트릴 수 있다는 의미로 이해하였는데요. 이러면 ion energy가 증가해야하는것이 아닌가요?
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76683 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57159 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68679 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92193 |
| 467 | 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] | 2326 |
| 466 | 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] | 1154 |
| 465 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1343 |
| 464 | 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] | 954 |
| 463 | 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] | 1973 |
| 462 | plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] | 2430 |
| 461 | Wafer particle 성분 분석 [1] | 2315 |
| 460 | 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] | 2758 |
| 459 | charge effect에 대해 [2] | 1463 |
| 458 | PECVD 증착에서 etching 관계 [1] | 1489 |
| 457 | 터보펌프 에러관련 [1] | 1752 |
| 456 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 596 |
| 455 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1381 |
| 454 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 792 |
| 453 | ESC Cooling gas 관련 [1] | 3524 |
| 452 | O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] | 956 |
| 451 | 플라즈마 코팅 [1] | 1036 |
| 450 | 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] | 2580 |
| 449 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 499 |
| 448 | [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] | 1289 |