Others Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요?
2017.10.25 07:56
안녕하세요 Etch 공정 담당하는 회사원입니다~
장비 Idle 상태에서 Dummy 이용하는데 과학적으로 왜 쓰는지 정확하게 이유를 알고싶습니다..
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제 생각에는 ESC 보호를 위해서가 아닐까요? idle 상태에서 만들어지는 플라즈마에 의한 ESC 전극 표면에 형성되는 쉬스는 이온에 가속 에너지를 제공하므로 전극 표면에 sputtering을 유발하게 합니다. 따라서 ESC coating 막을 보호하려면 뭔가 방어기제가 있어야 할 것 같네요. 중요한 것은 Idle 상태를 얼마나 지속할 것인가를 어떤 방법으로 판단하는 것이 좋을까? 이점을 생각해 보세요. 공정진단 방법으로 발전시킬 수가 있겠습니다. 아마도 이때 dummy load의 변화를 갖고 판단하는 근거 자료를 만들어도 좋을지도 모르겠습니다. (특허도 생각해 보시기 바랍니다)