안녕하세요. 대기압 플라즈마 관련 회사를 다니고 있는 청년입니다.

최근에 보다 높은 밀도의 플라즈마를 얻기 위한 공부를 하고 있습니다.

플라즈마의 밀도가 높아지면 라디컬의 밀도도 높아지고 그에 따라 처리효과 (예를 들면 오염물 제거) 도 좋아 질 것이라고 생각합니다.

특허에 있는 방법으로는 반응기 자체를 가열 하는 방법이 있었습니다.

그외에 플라즈마 밀도를 높이기 위한 방법은 없는지 궁금합니다.

플라즈마에 대한 지식이 짧아 질문이 정확하지 못합니다. 죄송합니다 ㅠㅠ

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5905
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17355
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53178
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65113
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85202
378 임피던스 매칭회로 [1] file 2279
377 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2281
376 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 2287
375 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 2333
374 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2360
373 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2437
372 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 2442
» 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2451
370 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2455
369 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2460
368 PR wafer seasoning [1] 2489
367 CCP/ICP 의 플라즈마 밀도/균일도 에 대해서 질문이 있습니다. [3] 2492
366 진공장치 챔버내 산소 또는 수분 제거 방법에 대해 [1] 2501
365 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2545
364 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2548
363 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 2597
362 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 2653
361 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2693
360 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 2758
359 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 2779

Boards


XE Login