안녕하세요.


우선 늘 성실하게 답변을 해주셔서 감사드립니다. 연구에 큰 도움이 되고 있습니다


Plasma Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 두껍게 증착시키고자 합니다.

실험의 목적은 Viewport Winodw에 증착된 Polymer가 유발하는 투과율의 변화를 OES를 통해 확인하는 것입니다.

가능한 한 두껍게 Polymer를 증착시키고 싶은데 Gas 및 Chamber 환경을 어떻게 조성해야 이런 환경을 만들 수 있을지 알려주신다면 감사하겠습니다!


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [112] 4887
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16225
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63745
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83512
358 Descum 관련 문의 사항. [1] 2415
357 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2450
356 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2458
355 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 2459
354 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 2550
353 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 2594
352 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 2640
351 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2658
350 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 2701
349 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 2739
348 RPSC 관련 질문입니다. [2] 2767
347 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 2770
346 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 2803
345 ESC Cooling gas 관련 [1] 2813
344 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2845
343 플라즈마 색 관찰 [1] 2853
342 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 2857
341 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 2966
» Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 2975
339 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3046

Boards


XE Login