고등학교 재학 중인 김민정입니다.
다름이 아니라 실험 계획서를 작성해야 하는데 플라스마와 반도체 식각과 관련해서 진행할 수 있는 실험 있을까 해서 질문드립니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [316] 82114
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21874
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58658
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70281
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96010
504 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [Matcher의 알고리즘] [1] 1574
503 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1577
502 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [Byproduct와 gas flow, cleaning] [1] 1578
501 Impedence 위상관련 문의 [Circuit model, matching] [1] 1579
500 Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [플라즈마 내 전자 축적] [1] 1592
» 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 1592
498 ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다. [He 혼합비와 플라즈마 밀도] [1] 1611
497 플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료] [1] 1619
496 알고싶습니다 [Seasoning, 플라즈마 공정 및 부품 표면 특성 데이터] [1] 1626
495 데포 중 RF VDC DROP 현상 [부유 전극의 self bias 형성] [1] 1629
494 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [표면 화학 반응] [1] 1650
493 charge effect에 대해 [Self bias 및 capacitively couple] [2] 1651
492 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [Physical sputtering과 cleaning] [1] 1660
491 ICP lower power 와 RF bias [Self bias, Floating sheath] [1] 1678
490 연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [Cleaning procedure 플라즈마 공정진단 기술] [1] 1688
489 OES 분석 관련해서 질문드립니다. [Intensity 넓이 계산] [1] 1690
488 PECVD와 RIE의 경계에 대해 [DC bias 형성 판단] [1] 1700
487 N2, N2O Gas 사용시 Plasma 차이점 [N2 Plasma] [1] 1710
486 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [Breakdown과 impedance] [3] 1730
485 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [웨이퍼 bending] [1] file 1737

Boards


XE Login