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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [101] 3648
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공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50578
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62994
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82123
329 안녕하세요. ICP 플라즈마의 임피던스를 측정하는 방법에 대해서 문의를 드립니다. [3] 4959
328 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 658
327 RPS를 이용한 NF3와 CF4 Etch Rate 차이 [4] 5013
326 핵융합 질문 [1] 365
325 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] file 478
324 잔류가스분석기(RGA)에 관하여 질문드립니다. [1] 1512
323 CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [1] 7223
322 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [2] 1029
321 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1209
320 SiO2 식각 위한 Remote Plasma Source관련 질문 드립니다. [1] 3576
319 코로나방전, 이온풍 관련 문의 드립니다. [1] file 4614
318 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [4] 5672
317 모노실란(SiH4) 분해 메카니즘 문의 5586
316 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 1909
315 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 2629
314 Ar plasma power/time [1] 1173
313 RPSC 관련 질문입니다. [2] 2570
312 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] 12340
311 플라즈마 내에서의 현상 [1] 1214
310 RF Generator와 Impedance 관련 질문있습니다 [2] 5635

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