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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[332]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료]
[1] | 1933 |
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492 |
IMPEDANCE MATCHING PATH에서 S/H ~ MATCHER 간 전력전송 방법들에 대해 문의드립니다. [접촉 저항]
[2] | 1951 |
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491 |
Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [ESC와 Chamber impedance]
[1] | 1954 |
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490 |
다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [Radio-Frequency Plasma]
[1] | 1960 |
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489 |
Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [ICP match impedance]
[1] | 1973 |
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488 |
안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [Faraday shield]
[1] | 1984 |
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487 |
N2, N2O Gas 사용시 Plasma 차이점 [N2 Plasma]
[1] | 2024 |
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486 |
텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [표면 화학 반응]
[1] | 2028 |
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485 |
ICP lower power 와 RF bias [Self bias, Floating sheath]
[1] | 2028 |
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484 |
가입인사드립니다.
[1] | 2054 |
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483 |
압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문 [플라즈마 임피던스, 운전압력조절 방전 조건]
[1] | 2054 |
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482 |
ICP reflecot power [Insulator와 rf leak]
[1] | 2057 |
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481 |
plasma 형성 관계 [Paschen's law, 플라즈마 주파수]
[1] | 2063 |
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480 |
터보펌프 에러관련 [터보 펌프 구동 압력]
[1] | 2064 |
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다!
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478 |
glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [고전압 방전 및 DBD]
[2] | 2068 |
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PECVD와 RIE의 경계에 대해 [DC bias 형성 판단]
[1] | 2068 |
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OES 분석 관련해서 질문드립니다. [Intensity 넓이 계산]
[1] | 2068 |
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475 |
Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [Matcher와 Plasma Impedence]
[1] | 2080 |
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474 |
Pecvd장비 공정 질문 [Dusty plasma와 벽면 particle 제어]
[1] | 2085 |
