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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64230
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353 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3108
352 플라즈마 색 관찰 [1] 3101
351 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3066
350 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3029
349 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 3002
348 ESC Cooling gas 관련 [1] 2947
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346 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 2911
345 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 2908
344 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2879
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342 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2728
341 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 2722
340 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2693
339 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 2693
338 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 2684
337 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 2676
336 Descum 관련 문의 사항. [1] 2631
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334 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 2557

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