안녕하세요 RGA에 관하여 궁금한 점이 있습니다.


지금 저희가 사용하는 RGA는 인피콘 Transpector MPH 이고 SUS진공챔버에 사용하고 있습니다.


RGA 운용은 -3~4Pa 이하대에서 진행하고 있고 SUS챔버 Baking 시 잔류가스분석에 사용하고 있습니다.


한번 사용 할 때마다 70시간 정도씩 외벽90도(내벽130도)로 사용하고 있는데 이온소스가 오염되는 현상이 일어나고 있습니다.


혹시 RGA 이온소스 오염 원인에 대해서 알 수 있을까요? 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [129] 5614
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16912
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51351
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64221
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84301
352 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1216
351 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 490
350 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2125
349 RF frequency와 RF power 구분 36440
348 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2152
347 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2186
346 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 566
345 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 2906
344 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 5852
343 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 8042
342 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1626
341 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 346
340 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 757
339 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 4388
338 가입인사드립니다. [1] 1805
337 문의 드립니다. [1] 713
336 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 456
335 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1216
334 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1193
333 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 836

Boards


XE Login