Plasma 를 공부하는 중에  bulk plasma 가 아닌 chamber wall 에서의 반응들에 대해 공부하게 되었는데요.

3-body recombination 에 대해 문의드리고자 합니다.

형성된 plasma 가 소모되는 가장 큰 이유로 chamber wall 에서의 충돌이 있다고 알고 있습니다.

단순히 ion 과 electron 이 결합하여 neutral 이 되는 확률은 0 에 수렴하기 때문에

chamber wall 을 통한 3-body recombination 으로 neutral 이 된다고 했는데요.

이때 chamber wall 로의 charge transfer 도 3-body collision 에 의해서 진행되는것인가요?


이렇게 질문을 드리는 이유는

중성빔을 발생시킬때 plasma 를 reflecter 로 입사하여 reflecter 에 charge transfer 후 중성빔을 형성한다고 배웠습니다.

이때 ion 의 charge 가 trasfer 되는 원리가 3-body recombination process 에 의해서 된다고 들은 기억이 있는데

막상 이를 도식화 하려니까 정리 및 이해가 아직 잘 안됩니다.



번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [129] 5614
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16912
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51351
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64223
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84301
352 Impedence 위상관련 문의.. [1] 1216
351 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 490
350 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2125
349 RF frequency와 RF power 구분 36440
348 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2152
347 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2186
346 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] 566
345 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 2906
344 O2 플라즈마 표면처리 관련 질문2154 [1] 5852
343 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [1] 8042
342 유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [2] 1626
341 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 346
340 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 758
339 RF power에 대한 설명 요청드립니다. [1] 4388
338 가입인사드립니다. [1] 1805
337 문의 드립니다. [1] 713
336 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 456
335 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [1] file 1216
334 O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다. [1] 1193
333 DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] 836

Boards


XE Login