아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지던데

혹시 물이 분해되면서 나온 산소나 OH-때문에 온도가 떨어질수있나요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [181] 74898
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 18754
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 56234
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 66727
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 88159
379 플라즈마 색 관찰 [1] 3584
378 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3475
377 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3435
376 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 3393
375 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3374
374 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3371
373 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3346
372 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3296
371 ESC Cooling gas 관련 [1] 3220
370 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 3205
369 Descum 관련 문의 사항. [1] 3176
368 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 3148
367 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3134
366 챔버내 Arcing 발생 개선안에 대해 질문드립니다. [2] 3130
» 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3126
364 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3094
363 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2996
362 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 2993
361 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2989
360 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 2954

Boards


XE Login