번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [127] 5574
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16857
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51344
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64188
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84164
351 SiO2 박말 밀도와 반응성 간 상관 관계 질문 [1] 3067
350 플라즈마 색 관찰 [1] 3066
349 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3063
348 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3022
347 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 2978
346 ESC Cooling gas 관련 [1] 2923
345 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 2906
344 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 2888
343 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2875
342 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 2875
341 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 2796
340 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2715
339 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 2700
338 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 2677
337 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 2660
336 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2658
335 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 2639
334 Descum 관련 문의 사항. [1] 2579
333 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2552
332 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 2539

Boards


XE Login