안녕하세요. 반도체 관련 회사에 근무하는 엔지니어 입니다.


He Plasma 를 안정적으로 띄우려고 하는데 몇 가지 궁금한 점이 생겨 질문 드립니다.


1) 챔버에 He 외에 다른 gas는 넣지 않고 RF power를 인가했는데 plasma의 색이 아래와 같은 색을 내뿜었습니다.

https://i.ytimg.com/vi/5XPwfbeogi0/hqdefault.jpg

하지만 인터넷에서 찾아본 He plasma의 색은 이 색 외에도 붉은색과 연한 주황색도 있었습니다. 그리고 제가 공장 견학중에 보았던 He plasma의 색은 연한 주황색에 가까웠었습니다.(그때 역시 챔버 내에는 He gas만 있었습니다.)

이상하게 여겨 생각해봤는데, 전자가 여기된 후 n=2인 전자궤도에 떨어질때 빛이 방출되는 것이니 전자가 더 큰 에너지를 받거나 더 적은 에너지를 받아 여기되었다면 다른 색이 나올 수도 있을거라 생각했습니다.

하지만 그렇다면 Gas별로 고유한 plasma색이 있다고 알고있던 사실과 충돌하여 어느 것이 맞는지 궁금합니다.


2) He외에 N2도 같이 넣어 plasma를 띄우니 아래와 같은 색이 나타났습니다.

https://edu.glogster.com/library/proxy?url=https%3A%2F%2Fupload.wikimedia.org%2Fwikipedia%2Fcommons%2F1%2F1f%2FHeTube.jpg

기존에 제가 공장에서 봤던 He plasma 색도 이 색이었는데 왜 N2가 들어가고나서 이런 색이 나오는지 궁금합니다.


3) 질소 플라즈마의 경우에도 알아보니 다양한 색이 나오던데 혹시 DC 인지 RF인지 RF라면 주파수에 따라서도 색이 바뀔 수 있는건가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5804
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17213
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53033
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64476
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85090
358 DC스퍼터링과 RF스퍼터링에서의 처음 전자의 출처와 처음 이온의 생성 질문 [2] 3178
357 RPSC 관련 질문입니다. [2] 3176
356 RF chamber에서.. particle(부유물) 와 RF reflect power연관성 [1] 3107
355 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3080
354 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3054
353 ESC Cooling gas 관련 [1] 3036
352 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] 3028
351 HF + LF 사용 중, LF와 POWER와의 관계에 대한 질문입니다. [1] 3026
350 Plasma Etch시 Wafer Edge 영향 [1] 2956
349 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 2907
348 ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] 2829
347 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 2813
346 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 2796
345 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 2790
344 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 2778
343 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 2768
342 Descum 관련 문의 사항. [1] 2756
341 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 2744
340 CCP 구조가 ICP 구조보다 Arcing 발생에 더 취약한가요? [3] 2666
» Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 2644

Boards


XE Login