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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[265]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20078 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57116 |
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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코로나 방전의 속도에 관하여...
[1] | 3435 |
422 |
Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다.
[1] | 3394 |
421 |
dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요?
[1] | 3387 |
420 |
RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다.
[1] | 3379 |
419 |
Bias 관련 질문 드립니다.
[1] | 3362 |
418 |
plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다.
[2] | 3318 |
417 |
PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다.
[1] | 3315 |
416 |
Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다.
[2] | 3308 |
415 |
RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다.
[2] | 3227 |
414 |
PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 3189 |
413 |
electron energy distribution에 대해서 질문드립니다.
[2] | 3167 |
412 |
아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서
| 3163 |
411 |
M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다.
[1] | 3146 |
410 |
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 3136 |
409 |
Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 3115 |
408 |
Plasma 에칭 후 정전기 처리
[3] | 3043 |
407 |
CVD 공정에서의 self bias
[1] | 3034 |
406 |
Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다.
[1] | 2933 |
405 |
Plasma etcher particle 원인
[1] | 2924 |
404 |
HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의
[1] | 2880 |
공정 플라즈마와 관련된 강의는 학회 및 교육기관에서 외부인을 대상으로 진행하는 강의를 수강하는 편이 좋을 것 같습니다. 해당 강의0 들은 현업의 사례에서 다루는 플라즈마를 소개할 것입니다. 예전에는 한국기술교육대학에서 정기적인 강의가 있었고 최근에 학회에서 진행되는 강의는 진공학회 (www.kvs.or.kr) 춘계 학술대회 기간 중 (2017년 2월 15일(수) ~ 2월 17일(금)/ 강원도 횡성) 목요일에 "플라즈마 진단" 주제의 기술 심포지움이 있습니다. 참고하세요. 아울러 공정 플라즈마 관련 대학원생들에게 제공된 강의인 PSES-net 플라즈마 교육 프로그램이 올해 진행되면 저희 홈페이지에서 공지를 할 것이 참고하시기 바랍니다.
또한 참고로 추천드릴 교재는 정진욱교수님 역저인 "공정플라즈마 기초와 응용"이 있고, 심화 과정으로는 Principles of plasma discharges and material processings (Lieberman and Lichtenberg) 교재를 권합니다.