Others 고온 플라즈마 관련

2012.06.04 11:49

몽돌 조회 수:8090

안녕하세요?

배가스의 SOx와 NOx 처리에 저온 플라즈마를 사용하는데 관련된 논문이 있었는데,

그 중에서 Radical 생성이 잘 되지 않아서 문제가 있는 것을 봤습니다.

혹시 고온 플라즈마를 사용하여 Radical 생성을 더 잘 생성시킬 수 있을까요?

만약 고온 플라즈마가 Radical을 더 잘 생성시킬 수 있다면 왜 지금까지 연구하신 분들이 모두 저온 플라즈마를 사용하는 방안을

연구하셨을까요? 거기에 다른 이유가 있나요?

빠른 답변이면 감사하겠습니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76538
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91694
424 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1448
423 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 440
422 OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5910
421 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1173
420 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 515
419 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] file 1058
418 RF 변화에 영향이 있는건가요? 17505
417 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 462
416 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 835
415 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] 708
414 etching에 관한 질문입니다. [1] 2243
413 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3434
412 RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] 5647
411 DRAM과 NAND에칭 공정의 차이 [1] 5417
410 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 477
409 Si Wafer Broken [2] 2472
408 Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] 1417
407 I-V characteristic에 관하여 질문이 있습니다. [1] 1294
406 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 934
405 플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다. [1] 2243

Boards


XE Login