|
공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[218]
| 75407 |
|
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 19148 |
|
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 56477 |
|
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 67535 |
|
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 89320 |
|
388 |
PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문
[1] | 2485 |
|
387 |
산소양이온의 금속 전극 충돌 현상
[1] | 2543 |
|
386 |
Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다.
[1] | 2573 |
|
385 |
임피던스 매칭회로
[1]  | 2577 |
|
384 |
Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다.
[2] | 2581 |
|
383 |
플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다.
[1] | 2583 |
|
382 |
RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다.
[2] | 2590 |
|
381 |
PR wafer seasoning
[1] | 2613 |
|
380 |
Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 2621 |
|
379 |
Plasma etcher particle 원인
[1] | 2635 |
|
378 |
플라즈마 압력에 대하여
[1] | 2649 |
|
377 |
VI sensor를 활용한 진단 방법
[2] | 2649 |
|
376 |
PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 2657 |
|
375 |
HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의
[1] | 2689 |
|
374 |
HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요?
| 2742 |
|
373 |
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 2771 |
|
372 |
RIE에서 O2역할이 궁금합니다
[4] | 2798 |
|
371 |
electron energy distribution에 대해서 질문드립니다.
[2] | 2824 |
|
370 |
plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다.
[2] | 2914 |
|
369 |
Plasma 에칭 후 정전기 처리
[3] | 2930 |
