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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20170 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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양극 코로나 방전에 대한 질문입니다.
[1] | 2173 |
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N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다.
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426 |
Etch 공정 Dummy 사용이유가 뭔지 알 수 있을까요?
[1] | 2226 |
425 |
ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다.
[1] | 2232 |
424 |
플라즈마볼 제작시
[1] | 2234 |
423 |
부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리
[1] | 2235 |
422 |
etching에 관한 질문입니다.
[1] | 2258 |
421 |
Dry etch 할때 센터와 사이드 etch rate
[1] | 2258 |
420 |
CCP plasma에서 gap과 Pressure간의 상관관계
[1] | 2269 |
419 |
RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문
| 2281 |
418 |
플라즈마 깜빡임에 대해 질문이 있습니다.
[1] | 2303 |
417 |
RF 주파수와 공정 Chamber 크기의 상관관계
[1] | 2310 |
416 |
PRECOATING 공정에서 SHOWERHEAD <-> STAGE HEATER 간 GAP 과 DEPO 막질의 THK 와의 연관성....
[1] | 2311 |
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교수님 안녕하세요, icp 관련 질문이 있습니다.
[2] | 2312 |
414 |
sputtering gas에 따른 플라즈마 데미지
[1] | 2313 |
413 |
DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다.
[1] | 2313 |
412 |
Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다.
[1] | 2313 |
411 |
Wafer particle 성분 분석
[1] | 2319 |
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안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다.
[1] | 2319 |
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Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련.
[1] | 2325 |
저온 플라즈마의 단점이라고 하셨는데 저온 플라즈마를 어디에 활용할 때의 단점이라는 뜻인지,
또 저온이라는 것이 무엇 대비 얼마나 온도가 낮은 플라즈마를 뜻하는 것인지 명확한 질문 부탁합니다.