Remote Plasma Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [Pachen's law 이해]

2024.05.08 11:06

CVDENG'R 조회 수:202

안녕하세요, 교수님.

현재 반도체 업체에서 근무중인 엔지니어입니다.

현재 Clean 조건은 High pressure 및 Low pressure Clean을 사용하고 있습니다.

혹시 High Pressure Clean 진행 간 Showerhead와 Heater간 간격이 조금 더 넓어지면 Clean 효율에 문제가 있을까요?
 Ex) 10mm → 13mm

 

 

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