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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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[기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다.
[1] | 11943 |
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RF plasma에 대해서 질문드립니다.
[2] | 20414 |
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floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점
[1] | 22350 |
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self bias (rf 전압 강하)
| 25829 |
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plasma and sheath, 플라즈마 크기
| 23538 |
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이온주입량에 대한 문의
| 20327 |
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ICP에 대하여
| 18012 |
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sheath와 debye shielding에 관하여
| 26781 |
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5 |
Self Bias
| 35798 |
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4 |
CCP 에서 Area effect(면적) ?
| 20839 |
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3 |
self Bias voltage
| 22763 |
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2 |
플라즈마 쉬스
| 23382 |
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1 |
self bias
[1] | 18972 |
