번호 | 제목 | 조회 수 |
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공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 67981 |
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4 | CCP 의 electrode 재질 혼동 | 16418 |
3 | 입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) | 22926 |
2 | capacitively/inductively coupled plasma | 17718 |
1 | CCP/ICP , E/H mode | 22699 |