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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[332]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
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에쳐장비HF/LF 그라운드 관련
[1] | 20048 |
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CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [Breakdown과 impedance]
[3] | 1916 |
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CCP에서 DIelectric(유전체)의 역활 [유전체 격벽 방전]
[1] | 7935 |
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CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점.
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RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [RF 방전과 이온 에너지]
[1] | 19162 |
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CCP의 electrod 재질 혼동 [PECVD와 화학물 코팅]
| 16650 |
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입력전력에 따른 플라즈마 밀도 변화 (ICP/CCP) [ICP와 CCP의 heating]
| 23336 |
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2 |
capacitively/inductively coupled plasma [Heating mechanism과 coolant]
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1 |
CCP/ICP , E/H mode
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