번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73080
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17644
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55521
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65737
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86107
136 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 589
135 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 601
134 ICP 후 변색 질문 624
133 etch defect 관련 질문드립니다 [1] 635
132 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 666
131 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 692
130 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 699
129 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 722
128 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 736
127 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 748
126 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 752
125 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 780
124 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 812
123 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 840
122 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 899
121 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 910
120 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 946
119 Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 985
118 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 1007
117 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 1024
쓰기
태그

Boards

XE Login