안녕하십니까? 저는 대전에 필텍광학이라는 코팅전문회사에 근무하는 이 은석이라고 합니다. 저희는 진공증착(PVD)를 주사업으로 하고 있지만 장래에는 CVD를, 또는 플라즈마를 이용한 코팅을 하려고 노력 중입니다. 제가 궁금한 것은 PMMA 또는 PC(폴리카보네이트)의 금속산화물 증착이 가능하도록 플라즈마 표면개질로 가능한 방법이 있는가? 궁급합니다. 저희는 자체 제작한 플라즈마 장비로  실험을 하고 있는데 기본구조를 소개드리면,
  13.56MHz
  0 - 1500 watt
  3가지 gas를 동시 주입이 가능하고
  2종류의 액상 모노머를 혼입할 수 있도록 만들었습니다.  
  reactor는 대략  1000 x 800 x 650 mm 정도로 판형 전극이 장치되어 있습니다.
산소, 질소, 알콘, 이산화탄소 등의 플라즈마 처리와
실란류들의 플라즈마중합도 해보았는데 부착성에서 시료부착성이 문제가 됩고 있습니다.
강의록 내용중에 암모니아를 이용한 PMMA 표면개질에 대해 간단히 소개되었던데 조금 자세한 설명 좀 부탁드리겠습니다.
또한 이와유사한 경험이 있으신 분의 도움을 받고 싶습니다.
그럼 안녕히 계세요!