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| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65712 |
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| 4 | CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 | 19198 |
| 3 | 최적의 펌프는? | 18442 |
| 2 | Faraday shielding & Screening effect | 18219 |
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