Process Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다..
2019.05.26 15:39
안녕하세요 저는 현재 플라즈마 에쳐장비 쪽에서 근무중인 사람입니다.
하지만, 대학과정동안 화학에 대해선 공부해 본적이 없는지라 가스에 대한 지식이 거의 전무하다고 봐도 되는 상태입니다..
그래서 특정 식각물질에 대해 어떠한 가스가 어떤 역할을 하는지,
그에 대한 화학반응식이 무엇인지 공부 하고 싶은데
혹시 관련 교재를 추천해주실 수 있으신가요.. 부탁드립니다.
만약 적당한 교재가 없다면, 어떤 방법으로 공부하면 좋을지 조언 좀 부탁드립니다. 감사합니다.
댓글 3
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76711 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20163 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57163 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68686 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92251 |
| 768 | Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] | 229 |
| 767 | 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] | 122 |
| 766 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 79 |
| 765 | FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 | 168 |
| 764 | 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] | 317 |
| 763 | ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] | 350 |
| 762 | AP plasma 공정 관련 문의 [1] | 196 |
| 761 | Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] | 205 |
| 760 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 544 |
| 759 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 542 |
| 758 | DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] | 136 |
| 757 | CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] | 404 |
| 756 | 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] | 186 |
| 755 | gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] | 248 |
| 754 | PECVD Uniformity [1] | 497 |
| 753 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 634 |
| 752 | 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] | 248 |
| 751 | standing wave effect, skin effect 원리 [1] | 354 |
| 750 | Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] | 306 |
| 749 | RF 주파수에 따른 차이점 [1] | 696 |
성균관 대학교 염근영교수님께서 쓰신 "플라즈마 식각기술" (미래컴 출판) 을 추천합니다.