Process 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련
2019.11.20 18:31
안녕하십니까?
현업에서 일하면서, 정전척관련 업무를 진행하고 있습니다.
유체와 전자기장 관련 아킹이라던지/유전상수에 따른 전자기장 분포 등에 대한 분석을 하고 싶은데,
추천해주실만한 시뮬레이션이 있는지요?
제가 알기로는 엔시스나 CST프로그램을 알고 있습니다.
엔시스프로그램으로 위의사항을 분석 할 수 있는지도 궁금합니다.
감사합니다.
수고하십시오.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76727 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20183 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68699 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92278 |
769 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 68 |
768 | Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] | 233 |
767 | 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] | 124 |
766 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 80 |
765 | FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 | 169 |
764 | 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] | 319 |
763 | ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] | 352 |
762 | AP plasma 공정 관련 문의 [1] | 198 |
761 | Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] | 206 |
760 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] | 549 |
759 | Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] | 550 |
758 | DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] | 136 |
757 | CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] | 405 |
756 | 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] | 189 |
755 | gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] | 250 |
754 | PECVD Uniformity [1] | 505 |
753 | 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] | 637 |
752 | 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] | 248 |
751 | standing wave effect, skin effect 원리 [1] | 360 |
750 | Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] | 309 |
핵융합 연구소의 권득철박사님/ 한양대학교 정진욱교수님께 문의드려 보시면 좋은 정보를 얻으실 수 있을 것 같습니다.