안녕하세요. 경희대학교에서 플라즈마에 대한 학부연구를 진행하고 있는 박준우라고 합니다.

플라즈마의 전자 온도에 대한 간단한 질문이 있어 QNA 드립니다.

 

플라즈마 내의 전자가 물질(substrate)과 충돌했을 때, 맞은 substrate의 전자도 온도가 올라가는 것으로 알고 있습니다.

이 때 일반적으로 진공에 떠돌아 다니는 전자의 온도와, substrate의 전자 온도의 정의를 똑같이 할 수가 없다고 하는데, 정확히 어떻게 정의가 달라지는지 궁금하여 질문 드립니다.

 

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
763 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 333
762 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 191
761 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 186
760 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 503
759 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 459
758 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 129
757 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 389
756 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 181
755 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 238
754 PECVD Uniformity [1] 466
753 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 587
752 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 235
751 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 297
750 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 297
749 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 669
748 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 381
747 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 686
746 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 650
745 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 356
744 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 312

Boards


XE Login