Matcher Plasma Arching

2022.09.13 19:17

플라즈마어렵다1 조회 수:1051

안녕하십니까!

경기도 모 소재대학에 신소재공학과 재학중인 학생인데 

신소재공학과는 전자기학을 배우지 않아서 어려움을 겪고있습니다.

1. 아킹 현상에 대해 공부중인데 임피던스 매칭? 이런 개념들이 너무 어렵고 플라즈마에 대해 이해도를 높이기 위해 전자기학 책 (원서도 좋습니다) 추천해주실만한 서적있으신가요?

 

답변주시면 감사하겠습니다. 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76726
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20182
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68698
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92276
769 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 68
768 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 232
767 챔버 내 전자&이온의 에너지 손실에 대해 [1] 124
766 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 80
765 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 169
764 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 318
763 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 352
762 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 198
761 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 206
760 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 549
759 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 550
758 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 136
757 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 405
756 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 189
755 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 250
754 PECVD Uniformity [1] 505
753 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 635
752 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 248
751 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 359
750 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 308

Boards


XE Login