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공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76540
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91696
763 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [1] 333
762 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 192
761 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 186
760 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 504
759 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [1] 461
758 DBD 플라즈마 작동 시 유전체에 가해지는 데미지 [1] 129
757 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 391
756 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 181
755 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 238
754 PECVD Uniformity [1] 467
753 플라즈마를 알기 위해선 어떤 과목을 공부해야 할까요? [1] 589
752 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 235
751 standing wave effect, skin effect 원리 [1] 302
750 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 297
749 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 674
748 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 382
747 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] 687
746 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 651
745 안녕하세요, RPS나 DEPOSITION간에 발생하는 ELECTRON TEMPERATURE가 궁금합니다. [1] 356
744 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 312

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