Sheath DC bias (Self bias) ["Glow discharge processes"]
2017.08.30 10:39
안녕하십니까
이번에 DC bias (혹은 Self bias)관련 공부를 하고 있는데요~
혹시 참고 할만한 서적이나 논문이 있다면 추천 부탁 드립니다.
항상 좋은 정보 얻고 있습니다.
환절기 감기 조심하십시오.
댓글 3
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김곤호
2017.08.30 20:22
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etcherrr
2017.09.08 14:27
답변 감사합니다.
공부 후 궁금한 부분이 있어서 댓글 남깁니다. Plasma로 인해 self DC bias 형성은 이해는 하였지만 DC Bias와 ESC voltage의 상관관계를 알 수 있는 수식이나 설명 좀 부탁 드리겠습니다. 모호한 질문 드려 죄송합니다.
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김곤호
2017.09.08 19:34
아마도 ESC voltage는 ESC의 전압이고 Self bias 값은 wafer 표면에서의 DC 값 입니다. ESC와 wafer는 cap 성분으로 구성되어 있다고 가정하여 cap 에 의한 voltage divider 모델이 적용될 수가 있습니다. 따라서 divider 의 비례가 일정하다는 가정에서 wafer의 전압으로 부터 self bias 크기의 변화를 추측할 수는 있겠습니다. 다만, 정확한 값을 예측하기는 매우 힘들겠습니다. 따라서 대부분 전기적으로 측정이 가능한 ESC 값을 통해서 wafer 표면의 DC bias를 추측하고 있습니다.
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아래 질문 358 항 "CCP와 ICP의 차이"에 드린 답변을 참고하세요. 아울러 추천 자료는 Chapman의 Glow discharge processes (John Wiley & Sons, 1980)로 비교적 설명이 잘 되어 있습니다.