Etch etch defect 관련 질문드립니다
2022.04.28 18:19
1. etch 공정이 완료된 이후 가장자리에 다량의 defect가 발견되었는데 이때 원인을 분석하기 위한 방법이 무엇이 있을까요?
2. 또 1번의 defect를 줄이기 위한 방법이 무엇이 있을까요?
저 나름대로 공부를 해봤는데 다른분들 의견이 궁금해서 질문드립니다
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76685 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20152 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57159 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68680 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92212 |
162 | 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] | 400 |
161 | PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] | 423 |
160 | AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 | 463 |
159 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 471 |
158 | remote plasma 를 이용한 SiO2 etching 질문드립니다. [1] | 479 |
157 | PECVD Uniformity [1] | 492 |
156 | Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] | 494 |
155 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 540 |
154 | Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] | 544 |
153 | RF Sputtering Target Issue [2] | 592 |
152 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 602 |
151 | 기판표면 번개모양 불량발생 [1] | 605 |
150 | ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] | 607 |
149 | Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [1] | 635 |
148 | Polymer Temp Etch [1] | 652 |
147 | [재질문]에칭에 필요한 플라즈마 가스 [1] | 668 |
146 | 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다 [1] | 693 |
145 | 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] | 694 |
144 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 706 |
143 | ICP 후 변색 질문 | 723 |