질문하실 때 실명을 사용하여주세요.

2010.11.25 15:38

관리자 조회 수:96356 추천:380

플라즈마에 관심있으신 모든 분이 활용하고 플라즈마의 지식을 공유할수 있는 공간을 제공한다라는 원칙을 갖고 있습니다. 따라서 의견을 개진 하실 때는 자신의 이름을 분명히 밝혀주셔야 합니다. 그럼으로써 서로 알고 있는 플라즈마의 지식을 자유롭게 공유할 수 있을 것 입니다. 이 사항을 협조하여 주지기 바랍니다. 본인의 이름을 밝히지 않는 사람의 의견은 일주일 이내에 내용이 삭제됩니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [317] 82776
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21988
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58769
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70402
» 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 96356
173 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise] [1] 403
172 Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수] [1] 405
171 RIE Gas 질문 하나 드려도 될까요? [Sheath instability] [1] 417
170 메틸기의 플라즈마 에칭반응 메커니즘 [공정 플라즈마] [1] 436
169 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메커니즘에 대해 질문하고 싶습니다. [플라즈마-화학-표면 반응 모델] [1] 476
168 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [Plasma Cleaning] [1] 477
167 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [플라즈마 확산] [1] 488
166 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [Materials processing] [1] 489
165 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 502
164 PEALD장비에 관해서 질문드리고 싶습니다. [장비 세정 및 관리 규칙] [1] 529
163 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [Pd condition과 PDP] [1] 530
162 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [대면 재료의 전기적 특성와 플라즈마 쉬스의 변화] [3] 568
161 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 590
160 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 635
159 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [핵융합 연구소] [1] 661
158 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [Self bias와 RIE] [1] 711
157 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [Sheath 전기장 및 instability] [1] file 726
156 기판표면 번개모양 불량발생 [Plasma charging] [1] 742
155 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 746
154 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [RF 접지 및 체결, 결합부분 교체] [1] 781

Boards


XE Login