Plasma in general 산소 플라즈마에 대한 질문입니다...
2018.11.15 10:26
이제 막 플라즈마에 대해 공부하고 있는 학생입니다.
산소와 아르곤 플라즈마를 이용해 물질을 처리하려고 하는데요
실험전에 아르곤플라즈마와 산소플라즈마를 조금씩 섞어줄 떄 온도 변화를 먼저 측정해 봤었는데요
산소를 섞어줄수록 중심으로부터 안테나부근의 온도들은 아르곤만 있었을 때보다 떨어졌으나
거의 챔버의 끝에서는 오히려 산소플라즈마를 섞은 것이 온도가 더 높게 측정되었습니다..
이유가 무엇일까요..?
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [99] | 3632 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 15313 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 50569 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 62980 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] | 82013 |
648 | 자외선 세기와 결합에너지에 대해 질문드립니다. [1] | 273 |
647 |
염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다.
[1] ![]() | 274 |
646 | Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 | 283 |
645 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 285 |
644 | VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] | 286 |
643 |
입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate
![]() | 312 |
642 | 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] | 322 |
641 | magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] | 322 |
640 | etch defect 관련 질문드립니다 [1] | 327 |
639 | 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] | 329 |
638 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 331 |
637 | CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] | 334 |
636 | 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] | 335 |
635 | PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] | 338 |
634 | Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] | 338 |
633 | ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] | 339 |
632 |
플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor
[1] ![]() | 340 |
631 | ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 | 342 |
630 | glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] | 345 |
» | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 346 |