안녕하세요. 저는 유니스트에 재학중인 대학원생입니다.


이전에도 ICP CVD에 대해서 질문을 올렸었는데 그때 답변을 보고 문제점이 무엇인지 알수 있었습니다. 너무나 감사합니다.


그래서 이번에도 질문이 생겨 다시한번 찾아오게 되었습니다.


이번에 궁금한 점은 ICP CVD의 sample stage나 substrate에 magnetic property가 존재할 경우 plasma의 거동이 변하는지 변한다면 어떤식으로 변하게 될지 궁금하여 질문을 드립니다.


제가 찾아본 자료들을 보면 sample stage에 bias를 걸어서 deposition rate을 조절할수 있다는 자료들을 찾아 봤었습니다.


 그러다 문득 생각난게 magnetic field도 유사한 결과를 보여줄것 같은데 이렇게 생각해도 되는지 궁금합니다.


혹시 관련된 서적이나 논문 자료등 추천해주실 만한 자료가 있으시면 염치 불구하고 부탁드리겠습니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] 2291
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 12771
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49612
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61085
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 78327
639 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 237
638 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 244
637 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 246
636 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 247
635 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 255
634 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 256
633 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 256
632 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 258
631 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 262
630 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 269
629 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 279
628 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 283
627 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 285
» magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 289
625 라디컬의 재결합 방지 [1] 290
624 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 292
623 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 293
622 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 300
621 Plasma Cleaning 관련 문의 [1] 306
620 plasma 형성 관계 [1] 306

Boards


XE Login