안녕하세요 교수님 유용한 답변 항상 잘 활용하고 있습니다.

 

제가 부족한 점이 많아 자꾸만 여기에 여쭙게 되네요.

 

저는 CCP Plasma를 base로 하는 장비를 주력으로 다루고 있습니다. 

 

저희는 RF를 Showerhead에 걸어주는데요. 

 

이번에 TC를 통해서 Plasma가 켜졌을 때 Showerhead의 온도 동향을 파악하는 평가를 하려고 합니다.

 

그래서 Showerhead에 TC를 달아서 온도를 측정하려고 합니다.

 

그런데, 제가 알기로는 TC는 온도에 따라 다르게 형성되는 전압을 측정해 온도를 측정하는 것으로 알고있습니다.

 

그래서 Showerhead에 강한 Power(2000~3000W)를 걸어주었을 때 TC에 어떤 문제가 생기지는 않을까 걱정이 됩니다.

 

교수님은 어떻게 생각하시는지요?

 

혹은 추천해주실만한 다른 측정법이 있으신지 궁금합니다.

 

항상 감사합니다!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [85] 2317
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 12799
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49615
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 61099
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 79282
639 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 238
638 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 245
637 Massbalance equation 에서 P(t) 유도과정 246
636 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 247
635 ICP 대기압 플라즈마 분석 [1] 258
634 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] 259
633 CF3의 wavelength가 궁금해서 질문드립니다. [1] 260
632 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 262
631 플라즈마를 통한 정전기 제거관련. [1] 263
630 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 272
629 입자에너지에따른 궤도전자와 핵의 에너지loss rate file 283
628 플라즈마 이용 metal residue 제거방법 문의드립니다. [1] 284
627 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 289
626 라디컬의 재결합 방지 [1] 292
625 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 293
624 크룩수의 음극선도 플라즈마의 현상인가요? [1] 295
623 Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다. [2] 298
622 standing wave effect에 대한 질문이 있습니다. [1] 306
621 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 308
620 plasma 형성 관계 [1] 310

Boards


XE Login