Plasma in general RF 전압과 압력의 영향?

2021.12.06 14:03

피했습니다 조회 수:1676

안녕하세요 교수님. 항상 친절한 답변 감사드립니다.

 

회사를 다니면서 공부를 하다보니 제가 부족한 부분이 많아 자꾸 찾아뵙게 되네요.

 

현재 염근영 교수님의 '플라즈마 식각기술' 이라는 책을 공부하고 있는데요.

 

읽다보니 간단한것 같은데 이유를 모르겠는게 있어서 문의 드립니다.

 

Pressure가 공정에 미치는 영향 중에 압력이 낮아지면 rf voltage가 높아진다고 나와있는데 그 이유가 궁금합니다.

 

그리고 이 전압이라함은 플라즈마와 전극 사이의 전압을 말하는건가요?

 

제가 전기쪽으로는 지식이 많이 부족해서 헷갈립니다 ㅜㅜ 

 

감사합니다!

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76727
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20183
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57167
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68699
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92278
769 CCP장비 discharge 전압 및 전류 측정 방법 과 matcher 문제 관하여 [2] file 158
768 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 162
767 corona model에 대한 질문입니다. [1] 169
766 FTIR분석을 이용한 SiO2성막 해석 169
765 실리콘 수지 코팅 Tool에 Plasma 클리닝 시 코팅 제거 유/무 [1] 170
764 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [1] 178
763 화장품 원료의 플라즈마 처리 문의 [1] file 185
762 플라즈마를 이용한 물속 세균 살균 질문드립니다. [1] 189
761 AP plasma 공정 관련 문의 [1] 198
760 플라즈마 제균 탈취 가능 여부 [1] 206
759 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 206
758 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 206
757 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 212
756 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 216
755 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 225
754 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 228
753 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 232
752 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 248
751 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 250
750 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 250
쓰기
태그

Boards

XE Login