Etch 터보펌프 에러관련 [터보 펌프 구동 압력]

2019.03.18 20:52

베컴 조회 수:2018

안녕하십니까?

진공관련 터보펌브 관련 질문을 드리려 합니다.

고진공 펌프인 터보펌프에 대기압 상태의 가스입자 즉 아보가드로 넘버 숫자의 입자가 주입이 될 경우

터보펌프에 어떤 무리가 오게 되는지 궁금합니다.

제가 예상하건데...터보펌프 블레이드가 녹아버리거나, 추즉합니다.

 

터보펌프에 에러가 발생을 해서요...따로 인터락은 작동하지 않은것으로 파악됩니다.

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