ATM Plasma 대기압 플라즈마
2011.03.20 23:03
안녕하세요
대기압 플라즈마 장비를 관리를 하는데
세라믹에 아크가 발생하여
세라믹이 구멍이 나면서 크랙이 갑니다.
원인을 자세히 설명 부탁드립니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76661 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20149 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57149 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68669 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92152 |
767 | RF에 대하여... | 31991 |
766 | ICP 플라즈마에 관해서 [2] | 31979 |
765 | RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. | 31657 |
764 | DC Bias Vs Self bias [5] | 31521 |
763 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. | 29969 |
762 | 플라즈마 밀도 | 29948 |
761 | PECVD에서 플라즈마 damage가 발생 조건 | 29729 |
760 | matching box에 관한 질문 [1] | 29662 |
759 | 플라즈마의 정의 | 29460 |
758 | 물질내에서 전하의 이동시간 | 29398 |
757 | [Sputter Forward,Reflect Power] [1] | 29258 |
756 | 플라즈마를 이용한 오존 발생장치 | 28915 |
755 | OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [1] | 28698 |
754 | Arcing [1] | 28639 |
753 | 반도체 관련 질문입니다. | 28577 |
752 | 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] | 28443 |
751 | 플라즈마와 자기장의 관계 | 28326 |
750 | esc란? | 28065 |
749 | 탐침법 | 27826 |
748 | sheath와 debye shielding에 관하여 | 27797 |