Others Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요
2020.09.08 09:59
안녕하세요. 장비회사에서 근무하는 양철훈 이라고 합니다.
궁금한 점이 있어 문의 드립니다.
- DC sputter에서 스퍼터링 건에서 전원부 말고 Sheild나 housing는 전기적으로 ground가 좋은가요 floating 시키는 것이 좋은지요. DC에서는 상관없을 수도 있다는 생각이 들기도 합니다.
- 동일 질문을 RF sputter의 경우에 하면 어떤 것이 더 좋은지요. RF에서는 charging 문제로 ground가 되어야만 할 것같다는 생각이 들기도 합니다.
어떤 것이 더 좋은지와 이 이유 답변 부탁드립니다.
감사합니다.
댓글 2
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76712 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20168 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57164 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68692 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92268 |
768 | RF에 대하여... | 32003 |
767 | ICP 플라즈마에 관해서 [2] | 31990 |
766 | RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. | 31663 |
765 | DC Bias Vs Self bias [5] | 31534 |
764 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. | 29988 |
763 | 플라즈마 밀도 | 29957 |
762 | PECVD에서 플라즈마 damage가 발생 조건 | 29733 |
761 | matching box에 관한 질문 [1] | 29665 |
760 | 플라즈마의 정의 | 29467 |
759 | 물질내에서 전하의 이동시간 | 29398 |
758 | [Sputter Forward,Reflect Power] [1] | 29260 |
757 | 플라즈마를 이용한 오존 발생장치 | 28923 |
756 | OLED에서 SF6와 CF4를 사용하는 이유를 알고 싶습니다. [1] | 28717 |
755 | Arcing [1] | 28642 |
754 | 반도체 관련 질문입니다. | 28579 |
753 | 압력과 플라즈마 크기의 관계가 궁금합니다. [1] | 28517 |
752 | 플라즈마와 자기장의 관계 | 28338 |
751 | esc란? | 28067 |
750 | 탐침법 | 27832 |
749 | sheath와 debye shielding에 관하여 | 27818 |
특별한 이유가 없는 한, 장비는 ground를 잘 확보하시는 것이 좋습니다. floating 조건이면 기준값이 통일되지 않아, 장비 운용에 문제를 야기할 확률이 매우 높아 집니다. 따라서 공정 재현성도 나뻐집니다. 접지 연결에는 각별한 주의를 기울이시는 것이 좋습니다. .