안녕하세요 김곤호 교수님.

저는 코로나 방전 공부를 하고 있는 대학원생입니다.

저번에 재료에 따른 이온풍에 대해 질문했었는데요 오늘은 다른 질문을 하러 왔습니다.

저는 wire-plate로 전극을 구성해서 wire에 +극 고전압을 인가해서 코로나 방전을 시키고 있습니다.

이번에 재료를 바꾸면서 실험을 했었는데 이해가 잘 되지 않은 부분이 있습니다.

저는 플라즈마 공간 유지에 있어서 wire의 재질특성이 이온화 에너지가 낮아야 방전이 잘되고 plate의 재질특성이 전기전도도가 낮아야 플라즈마 공간이 잘 유지된다고 생각하고 있습니다.

wire의 재질이 이온화 에너지가 낮아야 된다고 생각한 이유는 이온화 에너지가 낮을 수록 방전 개시전압이 낮아지고 그만큼 플라즈마 공간 형성이 용이 하다고 생각했기 때문입니다.

다음으로 plate의 재질이 전기전도도가 낮아야 된다고 생각한 이유는 전기전도도가 높으면 방전이 일어나면서 plate로 손실되는 에너지가 클 것이라고 생각했기 때문입니다.

하지만 막상 실험을 해본결과 이온화에너지가 가장 낮은 은보다 니켈이 더 성능이 좋았고, 전기전도도가 낮은 텅스텐보다 은이 성능이 더 좋았습니다.

혹시 제가 모르는 다른 요소가 있거나 제가 잘못생각한 점이 있다면 설명해주시면 감사하겠습니다.


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
403 Collisional mean free path 문의... [1] 775
402 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 2295
401 플라즈마 색 관찰 [1] 4191
400 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 14135
399 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1009
398 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1028
397 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24120
396 MATCHER 발열 문제 [3] 1425
395 플라즈마 기초입니다 [1] 1279
394 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1550
393 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1594
392 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1776
391 PR wafer seasoning [1] 2694
390 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6535
389 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 614
388 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1870
387 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1770
386 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2853
385 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 982
384 ICP 후 변색 질문 722

Boards


XE Login