안녕하세요. 일반 회시에 다니는 회사원입니다.

다름이 아니고 마이크로웨이브파를 이용 플라즈마 발생장치에 관심이 있어 질문 드립니다.

만약 마그네트론 + 리액터 + 웨이브가이드  3개로 구성된 장치가 있는데 만약 여기에 사용되는 전력이 플라즈마를 발생시키기 위해서 마그네트론

과 리액터내 플라즈마를 발생시키기 위한 전력만 소모되는지요? 마그네트론은 1kw짜리 이고 리액터에 사용되는 플라즈마 발생장치는 저온 플라즈마(500~600도) 입니다.

개발업체에서는 플라즈마를 발생시키기 위해서 사용전력이 많이 들어간다고 하는데 얼마정도 인지 확인이 안되고 있습니다.

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
403 Collisional mean free path 문의... [1] 775
402 Etch공정(PE mode) Vpp 변동관련. [1] 2295
401 플라즈마 색 관찰 [1] 4191
400 플라즈마 장비를 사용한 실험이 가능할까요 ? [1] 14135
399 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1009
398 DC Plasma 전자 방출 메커니즘 1028
397 플라즈마에 관해 질문 있습니다!! 24120
396 MATCHER 발열 문제 [3] 1425
395 플라즈마 기초입니다 [1] 1279
394 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1550
393 CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [3] 1594
392 플라즈마 실험을 하고 싶은 한 고등학생입니다.... [1] 1776
391 PR wafer seasoning [1] 2694
390 플라스마 상태에서도 보일-샤를 법칙이 적용 되나요? [1] 6535
389 플라즈마 기본 사양 문의 [1] 614
388 RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다. [1] 1870
387 wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상 [1] 1770
386 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2853
385 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 982
384 ICP 후 변색 질문 722

Boards


XE Login