Others 플라즈마 내에서의 현상

2016.06.08 00:50

김준민 조회 수:1387

플라즈마 안에서는 원자들끼리 (비)탄성충돌이 발생하거나 그로 인해서 재결합이나 전하 이동, 여기, 이온화, 이완, 분리 같은 현상들이 발생하는 것으로 아는데 이런 현상들이 플라즈마의 유동에도 영향을 미치는지 궁금합니다. 그리고 플라즈마 난류 시뮬레이션에 이런 현상들이 반영되는지도 궁금합니다. 특수한 상황에서는 고전적인 MHD로 플라즈마 유동을 설명할 수 없다고 하던데 그런 것들이 플라즈마 내에서 발생하는 현상들과 관련이 있는 것인지 궁금하여 질문 드립니다. 답변 부탁드리겠습니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] 76712
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20168
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57164
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68690
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92262
408 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2889
407 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2870
406 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2869
405 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2815
404 임피던스 매칭회로 [1] file 2804
403 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2770
402 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2763
401 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2737
400 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2727
399 PR wafer seasoning [1] 2701
398 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2685
397 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2638
396 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2628
395 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2581
394 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2579
393 질문있습니다. [1] 2569
392 Si Wafer Broken [2] 2508
391 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2492
390 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2470
389 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2450

Boards


XE Login